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三大帶通濾光片工藝對比:膠合吸收vs干涉薄膜vs單基片復(fù)合

2025-07-19 派大星

在光學(xué)系統(tǒng)的精密舞臺上,帶通濾光片如同精準(zhǔn)的波長守門員。除了廣為人知的膠合吸收型和純干涉薄膜型兩大主流技術(shù),單基片復(fù)合型帶通濾光片憑借其獨(dú)特的工藝融合和性能平衡,占據(jù)了重要一席。理解這三種工藝的根基、表現(xiàn)與優(yōu)劣,是選擇最適方案的關(guān)鍵,下面我們將用簡單的知識帶領(lǐng)大家去認(rèn)識這幾款類似濾光片的不同特征與應(yīng)用之處!

 三大帶通濾光片工藝對比:膠合吸收vs干涉薄膜vs單基片復(fù)合

(帶通濾光片-激埃特原創(chuàng)圖)

一、核心工藝與原理:三大流派

1.膠合吸收型帶通濾光片(AbsorptiveBandpass-ABP):

工藝基石:有色光學(xué)玻璃的本征吸收特性。

制造:將短波通(吸收長波)和長波通(吸收短波)有色玻璃基片精密切割、拋光后,用光學(xué)膠水(環(huán)氧樹脂/UV膠)膠合成“三明治”結(jié)構(gòu)。

原理:短波通玻璃吸收長波,長波通玻璃吸收短波,重疊區(qū)形成透射帶。帶寬和邊緣陡度受限于玻璃吸收曲線。

 膠合吸收型帶通濾光片

膠合吸收型帶通濾光片-激埃特原創(chuàng)圖

2.干涉薄膜型帶通濾光片(Thin-FilmInterferenceBandpass-TFB):

工藝基石:真空鍍膜技術(shù)與光的干涉。

制造:在透明基片(如熔融石英、BK7)上,通過PVD(電子束蒸發(fā)、濺射)或CVD技術(shù),交替沉積數(shù)十至數(shù)百層光學(xué)厚度為λ/4的高折射率(TiO?,Ta?O?,Nb?O?)和低折射率(SiO?,MgF?,Al?O?)介質(zhì)薄膜。

原理:精密設(shè)計(jì)的膜系使目標(biāo)波長發(fā)生相長干涉(高透),非目標(biāo)波長發(fā)生相消干涉(高反/吸收)。通帶特性(中心波長、帶寬、陡度)由膜系設(shè)計(jì)決定。

 干涉薄膜型帶通濾光片

干涉薄膜型帶通濾光片-激埃特原創(chuàng)圖

3. 單基片復(fù)合型帶通濾光片(HybridSubstrate-CoatingBandpass-HSB):

工藝基石:結(jié)合基底吸收與表面干涉膜。

制造:選用具有特定本征吸收特性的基片(通常作為長波通濾光片,即基片本身吸收短波)。

在此基片的一個(gè)或兩個(gè)表面上,鍍制短波通干涉薄膜(通過薄膜干涉反射/截止短波)。

(性能優(yōu)化關(guān)鍵!)通常會(huì)在短波通膜層之上或基片另一面,增鍍寬帶增透膜(ARCoating),以最大限度提高通帶內(nèi)的透射率,減少表面反射損失。

原理:

短波截止:主要由表面短波通干涉膜實(shí)現(xiàn)(反射短波)。

長波截止:主要由基底材料本身實(shí)現(xiàn)(吸收長波)。

通帶形成:介于短波通膜截止波長和基底長波吸收起始波長之間的區(qū)域。

增透膜:消除基片-空氣界面和膜層-空氣界面的菲涅爾反射,顯著提升通帶透過率。

單基片復(fù)合型帶通濾光片

單基片復(fù)合型帶通濾光片

二、性能巔峰對決:優(yōu)缺點(diǎn)深度剖析

特性膠合吸收型(ABP)干涉薄膜型(TFB)單基片復(fù)合型(HSB)
透射率中低(40%-70%)。玻璃吸收+膠層散射損耗。高(中心波長>90%,可達(dá)99%)。反射損耗為主,AR可優(yōu)化。中高(可達(dá)80%+)。受基底吸收限制,但AR膜大幅提升。
帶寬(FWHM)較寬(常>幾十nm)。受玻璃吸收特性限制,難做窄。靈活可調(diào),可極窄(幾nm至幾百nm)。設(shè)計(jì)決定。中等寬度。受限于基底吸收邊和膜系截止邊的“天然”間距,靈活性介于ABP和TFB之間。
通帶邊緣陡度較低。吸收邊自然過渡。極高。膜層數(shù)和設(shè)計(jì)決定,可極陡峭。中高。短波邊陡度由干涉膜決定(可較陡),長波邊由基底吸收決定(相對平緩)。
角度敏感性極低。吸收機(jī)制角度不敏感。較高。入射角增大導(dǎo)致通帶藍(lán)移。中等。短波通薄膜部分有角度敏感性(藍(lán)移),基底吸收部分不敏感。
環(huán)境穩(wěn)定性較好。玻璃穩(wěn)定,膠層可能老化/脫膠/怕溫變。優(yōu)異(硬膜)。IAD/IBS硬質(zhì)膜耐候性極佳。軟膜較差。好至優(yōu)異?;追€(wěn)定,表面硬膜穩(wěn)定性同TFB硬膜。無膠層是巨大優(yōu)勢。
成本較低。原材料和加工相對簡單。較高。鍍膜設(shè)備貴、設(shè)計(jì)復(fù)雜、監(jiān)控精密、周期長。中等。省去一片玻璃和膠合工藝,但需在特殊基底上鍍較復(fù)雜膜系(含AR),成本通常低于TFB但高于ABP。
厚度/體積較厚。兩層玻璃+膠層。較薄。薄膜在單層基底上。較薄。單層基底+薄膜。顯著優(yōu)于ABP。
結(jié)構(gòu)復(fù)雜度中。涉及兩片玻璃處理和膠合。高。膜系設(shè)計(jì)沉積極其復(fù)雜。中高。膜系設(shè)計(jì)需耦合基底特性(比純TFB更復(fù)雜),但省去膠合。
典型應(yīng)用寬帶寬、低成本:簡易儀器、防護(hù)鏡、指示燈、寬譜照明濾色。高性能窄帶、高陡度、高透射:熒光顯微、光譜儀、激光、生化、天文、高端成像。要求中等帶寬、良好陡度(尤其短波邊)、高環(huán)境穩(wěn)定性、適中成本的應(yīng)用:機(jī)器視覺、工業(yè)傳感器、特定波段的生化檢測、部分激光防護(hù)/整形。

多帶通濾光片

(激埃特原創(chuàng)圖)

三、鍍膜工藝的巔峰挑戰(zhàn):多帶通濾光片

多帶通濾光片(MultibandpassFilter)的實(shí)現(xiàn)主要依賴于干涉薄膜型(TFB)和單基片復(fù)合型(HSB)技術(shù)的極限拓展,膠合吸收型難以勝任。

基于純干涉薄膜(TFB):

挑戰(zhàn):如前所述,設(shè)計(jì)復(fù)雜度(非周期膜堆/多腔串聯(lián))和鍍膜工藝(層數(shù)、厚度控制、均勻性、應(yīng)力)達(dá)到極致。

基于復(fù)合基底與復(fù)雜膜系(HSBHybrid):(重要補(bǔ)充!)

原理:選擇具有特定(可能較寬)透射窗口的基底,在其上鍍制包含多個(gè)通帶和抑制帶的極其復(fù)雜的干涉膜系。該膜系需要:

在基底透射窗口內(nèi),精準(zhǔn)“雕刻”出所需的多個(gè)窄通帶(利用相長干涉)。

在基底吸收較弱或透射的區(qū)域(尤其是靠近通帶處),提供極強(qiáng)的帶外抑制(利用相消干涉)。

通常整合增透功能。

 

挑戰(zhàn):膜系設(shè)計(jì)地獄PLUS:設(shè)計(jì)時(shí)需同時(shí)考慮并耦合基底的光譜特性(吸收、折射率)與薄膜干涉效應(yīng)。優(yōu)化變量更多,相互制約更強(qiáng)。

鍍膜工藝:層數(shù)、精度、均勻性要求與純TFB多帶通同樣嚴(yán)苛,甚至更高,因?yàn)榛滋匦砸肓祟~外的約束和潛在的不均勻性因素。

優(yōu)勢:可能利用基底吸收特性幫助抑制某些特定波段(如深紫外或遠(yuǎn)紅外),減輕膜系的設(shè)計(jì)和鍍制壓力,或?qū)崿F(xiàn)某些純TFB難以達(dá)到的寬背景抑制。

 多帶通濾光片2

(激埃特原創(chuàng)圖2)

四、結(jié)論:精準(zhǔn)匹配,方顯真章

膠合吸收型(ABP):成本為王、寬以待“波”。在寬帶寬、低角度敏感、成本敏感、環(huán)境穩(wěn)定要求不極端的場景中仍是務(wù)實(shí)之選。

干涉薄膜型(TFB):性能王者、精準(zhǔn)制導(dǎo)。統(tǒng)治窄帶寬、高陡度、高透射率、設(shè)計(jì)靈活度要求極致的高精尖領(lǐng)域。硬膜技術(shù)保障了卓越的耐久性。

單基片復(fù)合型(HSB):融合智慧、平衡之道。巧妙結(jié)合基底吸收的穩(wěn)定性與薄膜干涉的陡度/設(shè)計(jì)性,規(guī)避了膠合風(fēng)險(xiǎn)。在需要中等性能(尤其短波邊陡度)、優(yōu)異環(huán)境穩(wěn)定性、適中厚度和成本的應(yīng)用中展現(xiàn)出強(qiáng)大的競爭力。增透膜的運(yùn)用是其提升性能的關(guān)鍵一環(huán)。

多帶通濾光片:無論是基于純TFB還是HSB Hybrid,都代表著光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)智慧與鍍膜工藝的巔峰。其成功是精密計(jì)算、超凈環(huán)境、頂尖設(shè)備和深厚工藝經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶,是推動(dòng)多光譜/高光譜成像、高級熒光檢測等技術(shù)發(fā)展的核心引擎。

 

光學(xué)濾光片的世界遠(yuǎn)非非黑即白。膠合吸收、干涉薄膜、單基片復(fù)合這三大常規(guī)工藝,如同三原色,通過不同的組合與精進(jìn),描繪出滿足萬千光學(xué)需求的精準(zhǔn)光譜畫卷。理解其各自的工藝DNA與性能邊界,是工程師駕馭光線、點(diǎn)亮科技未來的基石。隨著新材料(如超材料、光子晶體)和新工藝(如原子層沉積ALD、納米壓?。┑陌l(fā)展,未來濾光片的形態(tài)與能力必將更加令人驚嘆。